真空计测量范围

 在压力测量中,除少数直接测量外,绝大多数是间接测量。它首先在被测气体中引起某些物理现象,然后在此过程中测量与压力有关的物理量,然后尝试确定压力值。这是真空测量的特点,也会引起一些问题。

 

 

任何特定的物理现象与压力之间的关系在一定的压力范围内最为显著,超过这个范围后,这种关系变得很弱。因此,任何方法都有自己的测量范围,即真空计的“范围”。尽可能扩大各种方法的范围是真空科学研究的重要内容之一。现代真空技术涉及的压力范围宽达19级(105 ~ 10-14pa)。没有真空计能测量如此宽的压力范围。因此,通常使用几个真空计来控制某些区域。然而,由于各种真空计的原理不同,它们连接的区域往往会产生较大的误差。

 

 

在被测空间中会产生一些物理现象,这个问题也会出现,即从测量的角度来看,需要一个简单的物理现象,但有时一系列寄生现象是不可避免的。这些寄生现象不仅给测量带来误差,有时还“占主导地位”,完全掩盖了主要现象。

 

 

从上述观点来看,为了提高真空计的性能,提高真空测量的精度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。