真空计利用气体传输现象检测的方法

测量方法

测量方法主要分为三种类型。这些是“检测压力本身的方法”、“利用气体传输现象的方法”和“利用气体中的电离现象的方法”。

利用气体传输现象的方法

热传导真空计是利用气体传输现象的真空计。这是利用气体的热导率根据压力而变化的特性的真空计。

热传导真空计有多种类型，包括皮拉尼真空计、热敏电阻真空计和热电偶真空计。关于热传导真空计需要注意的重要一点是，在高真空下，热辐射的影响变得大于热传导的影响。因此，热导真空计的缺点是不能用于高真空测量。