差压器在洁净室内环境测量

洁净室内环境测量

图2.洁净室示意图

在洁净室中，保持空气洁净度非常重要。尽管空气不断循环，但仍使用过滤器去除灰尘和其他颗粒以保持清洁。使用压差表检查过滤器性能是否恶化非常重要。

另外，洁净室内部保持正压（大气压高于1个大气压），以防止灰尘从洁净室外部进入。您还可以使用压差计检查是否保持正压。特别是如果洁净室内安装了某种排风系统，很可能会出现负压，所以检查正压是必不可少的。