半导体制造设备应用电路设计/图案设计

半导体制造设备原理

半导体制造设备的基本操作可分为电路设计/图案设计、光掩模制作、前处理和后处理。

电路设计/图案设计

电路设计/图案设计涉及设计实现所需功能的电路，并进行多次仿真以考虑有效的图案。专用 CAD 软件用于设计半导体器件的图案。