真空计利用气体中电离现象的方法

测量方法

测量方法主要分为三种类型。这些是“检测压力本身的方法”、“利用气体传输现象的方法”和“利用气体中的电离现象的方法”。

利用气体中电离现象的方法

利用气体电离现象的真空管有潘宁真空计（冷阴极电离真空计）和离子计（热阴极电离真空计）。彭宁真空计可以利用真空中的放电现象来测量压力。虽然具有优异的耐久性，但其灵敏度根据气体种类的不同而有很大差异。

潘宁真空计的优点是电路配置简单。另一方面，其缺点是潘宁放电不稳定，难以高精度测量。此外，如果表面污染严重，则从阴极发射的电子量会减少，导致无法放电，并且如果阴极处于高真空中，则可能难以开始放电。