真空计的不同测量方式

测量方法

测量方法主要分为三种类型。这些是“检测压力本身的方法”、“利用气体传输现象的方法”和“利用气体中的电离现象的方法”。

检测压力本身的方法
U型管真空计是一种利用压力本身检测的真空计。 U型真空计是将玻璃制成的U型管的一侧抽真空并密封而成，是压力表。

气体压力差可以从压力差引起的液柱高度读取。 U型真空计的独特之处在于它不属于气体类型。因此，它被用作其他真空计的校准标准，因为它允许绝对测量压力。

利用气体传输现象的方法
热传导真空计是利用气体传输现象的真空计。这是利用气体的热导率根据压力而变化的特性的真空计。

热传导真空计有多种类型，包括皮拉尼真空计、热敏电阻真空计和热电偶真空计。关于热传导真空计需要注意的重要一点是，在高真空下，热辐射的影响变得大于热传导的影响。因此，热导真空计的缺点是不能用于高真空测量。

利用气体中电离现象的方法
利用气体电离现象的真空管有潘宁真空计（冷阴极电离真空计）和离子计（热阴极电离真空计）。彭宁真空计可以利用真空中的放电现象来测量压力。虽然具有优异的耐久性，但其灵敏度根据气体种类的不同而有很大差异。

潘宁真空计的优点是电路配置简单。另一方面，其缺点是潘宁放电不稳定，难以高精度测量。此外，如果表面污染严重，则从阴极发射的电子量会减少，导致无法放电，并且如果阴极处于高真空中，则可能难以开始放电。