真空计的测量范围

 

真空计的测量范围

压力分为低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度,根据真空计的类型不同,测量真空度也不同。根据JIS(日本工业标准),真空度根据压力范围分为如下所示的五类。皮拉尼真空计可以测量低真空到中真空,电离真空计可以测量中真空到超高真空。

  • 低真空:10 5 Pa~10 2 Pa
  • 中真空:10 2 Pa~10 -1 Pa
  • 高真空:10 -1 Pa~10 -5 Pa
  • 超高真空:-5 Pa至1 0-8 Pa
  • 极高真空:10 -8 Pa以下